研究室紹介

電子デバイス工学

須田良幸研究室

須田良幸研究室
環境に優しい材料・プロセスを用いた電子素子の実現を目指して

今日使われている携帯機器を始めとする様々な電子機器は、半導体と呼ばれる材料の中の電子の動きを利用した電子部品が使われており、この部品は電子機器の構成要素として電子素子と呼ばれています。本研究では、地球資源の多いシリコン(Si)を主要半導体材料とした多層薄膜の積層構造で、また、この構造の形成に材料の利用効率の高いスパッタエピタキシー法(固体原料を希ガスでたたいて飛び出す原料原子を反対側の基板に転写堆積する方法)と呼ばれる方法を開発して用いるなどの点で、環境に優しい原材料とプロセスからなる次世代の高性能な電子素子を創成する研究を行っています。

教授 須田良幸
教授
須田良幸
助教 塚本貴広
助教
塚本貴広
技術職員 遠藤欣樹
技術職員
遠藤欣樹
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